Recipe 是把工艺意图交给设备执行的受控数据。它可能包含腔体选择、运动位置、光学条件、算法阈值和采样策略。若把 Recipe 当作任意可编辑的配置文件，设备就难以证明“当时到底执行了什么”。
1. Recipe、设备常数与校准参数
Recipe 描述批次或产品怎样运行；设备常数描述硬件安装和能力边界；校准参数描述测量系统当前的补偿关系。三者生命周期与修改权限不同，不应混在同一文件中。
Recipe 参数还应分为用户参数、工程参数和派生参数。用户选择扫描间距后，软件可计算轨迹点数，但应保存输入与最终展开结果，以便追溯。
2. 校验不能只检查数据类型
参数范围、单位、枚举和必填项属于语法校验；轴位置是否可达、光源功率与曝光是否兼容、指定腔体是否具备能力，则属于语义校验。跨参数规则应在下载或执行前完成，而不是运行到一半才失败。
设备升级后，旧 Recipe 可能不再兼容。应使用明确的 Schema 版本、迁移工具和兼容性策略，禁止在加载时静默改变含义。
3. 生命周期必须受控
一个实用流程包含草稿、评审、批准、发布、停用和归档。生产版本发布后应不可原地修改；任何变化生成新版本，并记录修改人、原因、时间和差异。
Host 下载 Recipe 时还要验证名称、版本、校验和及权限。设备本地同名内容与 Host 不一致时，应拒绝或按明确策略处理，不能凭“最后写入者获胜”。
4. 执行快照比文件名更可信
任务开始时应冻结 Recipe 快照，并关联设备常数、校准版本、软件和算法版本。运行期间有人发布新 Recipe，不应改变已经在途的晶圆。
结果记录保存快照标识和关键展开参数。这样出现偏差时，才能区分 Recipe 变化、设备漂移和算法升级。
5. 安全地管理敏感参数
参数编辑要有最小权限、审计和双人复核机制；危险值同时受硬件能力与安全联锁约束。Recipe 不是绕过联锁的授权。导入文件还需防范格式攻击、路径注入和超大数据。
总结
Recipe 管理本质是制造配置管理。可靠系统保证内容合法、版本唯一、执行时冻结、结果可追溯，并让设备和 Host 对“哪一版在生产”形成一致认识。